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面板行業典型的超純水工藝流程
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液晶面板的制程可劃分為三個階段
1、前段的半導體制程（array），也就是把晶體管的薄膜層做在玻璃基板上。
2、只中段則為灌液晶的組立制程（cell），即把彩色濾光片的玻璃與晶體管薄膜層的玻璃，組合在一起，中間灌入液晶。
3、月后段即為面板模塊，也就是把cell的背后加上背光板、鐵件與一些IC零件，成為所謂的面板模塊。
面板行業用水標準
|
水質指標 |
DIW |
UPW |
對應的處理方法 |
|
Resistivity(MQ ·cm) |
≥16.5MΩ-cm |
≥18.0MQ ·cm |
/ |
|
Particle((0.5μm) |
≤50 ea/ml |
≤10 ea/ml |
MMF/MF/RO/UF |
|
Bacteria |
≤10 Col/100ml |
≤5 Col/100ml |
MF/UV/UF |
|
TOC(mg/L) |
≤50ppb |
≤20ppb |
ACF&UV(185nm) |
|
Silica(mg/L) |
≤20ppb |
≤5ppb |
RO/UF/IX |
|
DO(mg/L) |
≤50ppb |
≤30ppb |
MDG |
|
Na(mg/L) |
≤0.5ppb |
≤0.1ppb |
Cation lon Exchanger |
|
K(mg/L) |
≤0.5ppb |
≤0.1ppb |
Cation lon Exchanger |
|
Ca(mg/L) |
/ |
/ |
Cation lon Exchanger |
|
CO3-2(mg/L) |
/ |
/ |
Anion lon Exchanger |
|
HCO3-(mg/L) |
/ |
/ |
Anion lon Exchanger |
|
Cl-(mg/L) |
/ |
≤1.0ppb |
ACF &Anion lon Exchanger |
|
SO4-2(mg/L) |
/ |
/ |
|
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